VIEW MicroLine 300桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)

MicroLine-300是桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆    測(cè)量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸ju jiao范圍：25 mm
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍：0.5um~400um；
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重(100x 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)； 
                                                   掩模板上0.005um(1δ)；   
◆    承重：2kg
◆    標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X


MicroLi--M 300是高能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的精視場(chǎng)測(cè)量。

n  200 x200mm精X-Y平臺(tái)
n  基于視覺(jué)的自動(dòng)ju jiao獲得某佳影像質(zhì)量
n  自動(dòng)照明可編程光強(qiáng)
n  用于測(cè)量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁能
n  完全可編程的序列，包括自動(dòng)ju jiao和關(guān)鍵尺寸測(cè)量
n  電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件控制
n  可選的透射照明
技術(shù)規(guī)格：
- 測(cè)量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)
- 平臺(tái)運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸--和快速釋放
- 視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量精度: 0.010μm (用100x物鏡)
- 特征尺寸: 視場(chǎng)內(nèi)0.5μm - 400μm
- FOV測(cè)量重: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)
<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)
- 照明: 石英鹵素?zé)? 反射光
      自動(dòng)照明
- 低噪音CCD VGA格式攝像頭
- 圖像處60幀每
MicroLine 300的典型應(yīng)用包括：
l  晶圓
l  光罩
l  MEMS
l  微型組件
測(cè)量類型:
n  關(guān)鍵尺寸:
線寬  Linewidth
節(jié)距  Pitch
間隙  Spacing
n  Overlay
            Multi-layer registration
Box in box
Circle
Edge roughness
Butting error

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